NAVI Titaniumsintrat rostfritt stålär ett pulvermetallurgiskt material som kan vara antingen poröst eller tätt. Den är gjord av för-legerat rostfritt stålpulver eller flerskiktsnät av rostfritt stål genom pressning och hög-vakuumsintring. Som en tillverkare med fullständiga-egenforsknings- och produktionsmöjligheter, är NAVI Titanium förbundit sig att tillhandahålla integrerade lösningar för sintrade filterelement i rostfritt stål med hög-tillförlitlighet till den globala marknaden. Sedan 2008 har NAVI Titanium levererat sintrade filter av rostfritt stål för över 160 industriprojekt, som täcker halvledar-CMP-slamcirkulation, gasleverans med ultra-hög renhet och farmaceutisk filtrering i Europa, Sydostasien och Nordamerika.
Lösning av NAVI Titanium
NAVI Titanium har varit djupt involverad i titanindustrin i över tio år, alltid legat i framkant med professionell expertis och stärkt branschutveckling med en dedikation till kvalitet. Den har inte bara ackumulerat mogen tillverkningserfarenhet, utan den har också byggt upp ett komplett produktsystem och exakta fält-anpassningsmöjligheter. Varumärket håller jämna steg med globala branschuppgraderingar, kontinuerligt itererande produkter, optimerar parametrar och förbättrar prestanda för att tillhandahålla skräddarsydda titanlösningar av hög-kvalitet för kunder inom olika sektorer. Tack vare dess viktigaste fördelar som lättvikt, korrosionsbeständighet, hög hållfasthet, hög-temperaturtolerans och starka stabilitet, har NAVI Titanium fått ett brett erkännande och tillämpning. Tabellen nedan konsoliderar all kärninformation för NAVI Titaniums nuvarande viktigaste titanprodukter, som täcker detaljerade specifikationer, storleksparametrar, prestandaindikatorer, materialegenskaper, tillämpliga scenarier och lämpliga områden, vilket ger en heltäckande bild av produkternas kärnstyrkor och anpassningsförmåga.


NAVI Titanium levererar specialanpassadesintrat rostfritt stålkomponenter. Vi tillverkar plåtar, skivor, flänsar och olika special-formade delar. Tillverkade av pulvermetallurgi med likformig porös struktur, dessa delar har stabil permeabilitet, hög temperatur och korrosionsbeständighet, idealisk för filtrering, gasdiffusion, brusreducering och ventilationsapplikationer.



Ansökan
Sintrat rostfritt stålär ett poröst metallmaterial som bildas av högtemperaturvakuumsintring av 304/316L pulver av rostfritt stål till ett enda stycke. Dess internt sammankopplade tre-mikroporösa struktur möjliggör exakt anpassning av porstorlekar från 0,1 till 100 μm. Den kombinerar metallens unika fördelar, inklusive hög hållfasthet, korrosionsbeständighet, hög-temperaturbeständighet, ingen fiberavgjutning, rengöringsbarhet och återvinningsbarhet och låg metallurlakning.
NAVI Titaniums sintrade rostfria filterelement är kärnfiltreringskomponenterna i halvledarsystem med ultra-hög-renhet. De är vanligtvis sintrade av 316L ultra-hög-rostfritt stål och genomgår elektropolering och vakuumpassivering för att säkerställa en defekt-fri yta och förhindra att föroreningar läcker ut. Deras primära applikationer är uppdelade i ett tre-system, som omfattar front-för-filtrering, precisionsfiltrering i mitt-och slut-stegsfiltrering: Främre-filtrering fångar upp stora partikelformiga föroreningar, rost och damm nedströms, och damm; medel-filtrering tar exakt bort partiklar i submikron-storlek för att bibehålla en stabil gasrenhet; och slut-filtrering är direkt ansluten till processkammaren för att säkerställa att gasen som kommer in i processen uppfyller ultra-höga-renhetsstandarder.


Dessutom, för halvledarapplikationer som involverar frätande specialgaser, kan denna produkt-tack vare dess utmärkta motståndskraft mot halogener, syror och alkalier-fungera stabilt under lång tid i fluor- och klor-baserade gasmiljöer utan att korroderas av mediet och generera sekundära föroreningar. Jämfört med organiska filtermedier som PTFE och glasfiber gör dess höga-temperaturbeständighet, åldringsbeständighet och icke-flyktiga egenskaper den perfekt lämpad för gasprocesser med hög-temperatur, vilket helt löser branschens-vida utmaning med gaskontamination orsakad av hög-nedbrytning av organiska material.
Inköpsguide
Kvalitetskontroll (QC)
NAVI Titanium kontrollerar strikt kvaliteten genom hela processen, och varje produktsats kommer med en komplett kvalitetsinspektionsrapport. Från analys av råmaterialsammansättning och mekanisk prestandatestning till verifiering av korrosionsbeständighet, alla testdata är verkliga och spårbara, vilket ger tillförlitliga kvalitetsbevis för ditt projektval.
|
|
Tillverkningsprocess
Hantverk är kärnan i produktkvalitet, och det har varit NAVI Titaniums kärnstyrka i titanindustrin i över ett decennium. Genom hela produktionsprocessen håller NAVI Titanium sig till noggrann kontroll vid varje steg, från val av råmaterial, smältning och smide, precisionsbearbetning, finpolering, ytbehandling till slutlig formning. Varje procedur har sin egen uppsättning hantverksstandarder och driftsnormer för att säkerställa detaljerad hantering genomgående. Till skillnad från branschens standardtillverkningsprocesser kan vi flexibelt justera processen baserat på kundernas anpassade behov, optimera produktstrukturer och prestandaparametrar för att exakt matcha materialkraven för olika avancerade applikationer. Artikeln nedan kommer att ge en fullständig titt på kärnhantverksteknikerna, processflöden, fördelarna och tekniska höjdpunkterna i varje produktlinje, NAVI visar tydligt hur hela produktlinjen förvandlas till Titan. stycke.
|
|
|
|
304 vs 316 vs 316L Sintrat rostfritt stål
NAVI Titaniums porösa material av sintrade rostfria stål, med sin kontrollerbara porstruktur, höga specifika ytarea, utmärkta mekaniska hållfasthet och bearbetbarhet, används i stor utsträckning inom vätskedistribution, behandling av korrosiva medier, katalytiska bärare och andra applikationer. Nedan har vi sammanställt detta jämförelsedokument för att kvantitativt analysera skillnaderna mellan 304, 316 och 316L sintrade rostfria stål och deras korrosionsreaktionshastigheter i olika mediamiljöer. Den förklarar också effekterna av legeringssammansättning, mikrostruktur och porparametrar på reaktionshastigheter, vilket hjälper ingenjörer, inköpspersonal och FoU-personal att slutföra materialval. Uppgifterna nedan är endast för referens.
| Särdrag | 304 | 316 | 316L |
| Allmän korrosionsbeständighet | Bra | Högre | Högre |
| Kloridmiljö | Måttlig | Bättre | Bättre |
| Låg-kolhalt | Inga | Inga | Ja |
| Svetsrelaterade-korrosionsöverväganden | Standard | Standard | Bättre |
| Typiska tillämpningar | Allmän industri | Kemisk/marin | Kemisk/halvledare/hög-renhet |
I olika korrosiva medier och redoxmiljöer bestämmer själva materialets kemiska stabilitet direkt dess livslängd, och "korrosionsreaktionshastigheten" är nyckelindikatorn för materialval. Många kunder blandar ofta ihop prestandagränserna för 304, 316 och 316L sintrade rostfria stål: alla tre är austenitiska rostfria stål med liknande baslegeringssystem, men skillnader i kolinnehåll och molybden kan avsevärt förändra stabiliteten hos den passiva filmen, vilket i sin tur påverkar korrosionsreaktionshastigheten i syrainnehållande{4,} kloridinnehållande{4,} miljöer med hög-temperatur.
| Frätande medium | Medium koncentration | Temperatur | 304 korrosionshastighet mm/år | 316 korrosionshastighet mm/år | 316L korrosionshastighet mm/år | Rekommenderat urval |
| Rent vatten | Avjoniserat vatten | 25 grader | <0.001 | <0.001 | <0.001 | 304 Kostnad först |
| Ättiksyra | 5% | 25 grader | 0.002 | 0.001 | 0.001 | 304 |
| Fosforsyra | 10% | 25 grader | 0.008 | 0.002 | 0.002 | 316/316L |
| Citronsyra | 10% | 25 grader | 0.003 | 0.0012 | 0.0012 | 304 |
| Natriumkloridlösning (saltvatten) | 3,5 % NaCl (simulerat havsvatten) | 25 grader | 0,18 (pitting) | 0.022 | 0.020 | 316L |
| Späd svavelsyra | 0,5 % H2SO4 | 25 grader | 0.12 | 0.045 | 0.041 | 316L |
| Natriumhydroxid (kaustiksoda) | 20% NaOH | 80 grader | 0.005 | 0.004 | 0.004 | 304 Kostnad först |
| Natriumhypoklorit (klordesinfektionsmedel) | 0,5% NaClO | 25 grader | 0,32 (pitting) | 0.072 | 0.065 | 316L, har en begränsad livslängd |
| Salpetersyra | 10 % HNO3 | 25 grader | 0.004 | 0.005 | 0.005 | 304 |
| Sensibiliserande miljö (hålls vid 500 ~ 700 grader efter sintring) | Luft, spår vattenånga | 25 grader | 0,35 (intergranulär korrosion) | 0,11 (lätt intergranulär korrosion) | 0.003 | 316L |
Ansökan
CMP-slam är inte en enkel vätska, utan ett mycket komplext dispersionssystem för nanopartiklar. En typisk CMP-slurry består vanligtvis av nano-kolloidal kiseldioxid; nano-ceriumoxid (CeO2); nano-aluminiumoxid (Al2O3); oxidanter (H2O2, Fe(NO3)3, etc.); pH-justerare; dispergeringsmedel; ytaktiva ämnen; inhibitorer; och ultrarent vatten (UPW). Nano-slipmedel är det som verkligen utför den mekaniska polerande effekten. Deras partikelstorlek kontrolleras vanligtvis mellan 20 och 100 nm, och hela slurrysystemet måste bibehålla extremt hög dispersionsstabilitet. För avancerad koppar-CMP måste den stora majoriteten av partiklarna i slammet koncentreras i partikelstorleksområdet 30–60 nm. Om partiklar börjar agglomerera och bildar stora partiklar på 300 nm, 500 nm, eller till och med större än 1 μm, kommer det att orsaka allvarlig skada på skivans yta. Därför är det verkliga målet för CMP-filter inte normala nötande partiklar, utan snarare de onormala partiklar som kontinuerligt genereras under systemdrift.

Bildningsmekanism för onormala agglomerat

Under kontinuerlig drift i en fabrik är CMP-slam inte ett statiskt system utan genomgår ständigt cirkulation, skjuvning, tryckförändringar och kemiska reaktioner. Under denna process kan nanopartiklar gradvis aggregeras på grund av van der Waals-krafter, elektrostatiska skärmningseffekter eller förändringar i den kemiska miljön, vilket bildar stora agglomerat som är mycket större än de ursprungliga partiklarna. Faktorer som påverkar agglomerationsbildningen inkluderar hög-skjuvning av cirkulationspumpen som leder till lokalt dispergeringsmedelsfel; förlängd uppslamningslagringstid som resulterar i minskad kolloidal stabilitet; temperaturförändringar som ändrar partiklars ytladdning; ökad metalljonkoncentration i slammet som komprimerar det elektriska dubbelskiktet och inducerar partikelaggregation; och luft som kommer in i cirkulationssystemet och bildar mikrobubblor, vilket främjar partikelbryggning.
Även om dessa agglomerat är extremt få till antalet når deras storlek vanligtvis hundratals nanometer eller till och med flera mikrometer. När de kommer in i poleringsområdet, på grund av deras mycket större storlek än vanliga slipande partiklar, skapar de lokaliserade höga-spänningspunkter mellan polerplattan och wafern, vilket i slutändan leder till ytrepor. Därför måste CMP-filtreringssystem kontinuerligt ta bort dessa onormala partiklar utan att störa den normala partikelstorleksfördelningen för nano-slipmedlen.


Traditionella polymermembran förlitar sig främst på två-dimensionella membranstrukturer för ytretention. Under filtrering tenderar partiklar att ackumuleras på membranytan och bildar ett kakskikt, vilket leder till en snabb ökning av tryckskillnaden. Däremot NAVI titaniumsintrat rostfritt stålanvänder en tre-dimensionell sammankopplad mikroporös struktur. Dess inre kanaler är sammankopplade, vilket gör att partiklar inte bara kan hållas kvar på ytan utan också gradvis distribueras längs kanaldjupet, vilket uppnår typisk djupfiltrering. Denna filtreringsmetod erbjuder flera betydande fördelar. För det första flyter nano-slurryn jämnt genom hela pornätverket, vilket förhindrar bildandet av lokaliserade höghastighetsskurzoner- och minskar slitaget på filtermediet. För det andra hålls större agglomererade partiklar företrädesvis kvar vid kanalinloppen, medan normala nanopartiklar kan passera igenom smidigt, och således inte väsentligt förändra uppslamningens partikelstorleksfördelning.
För det tredje, eftersom föroreningar är fördelade över hela filterskiktet, snarare än koncentrerade på ytan, kan en större mängd föroreningar rymmas per enhet filtreringsarea, vilket förlänger filtrets livslängd. Slutligen har denna produkt hög mekanisk hållfasthet, vilket gör att den kan motstå backspolning online. Behållna partiklar avlägsnas via omvänt vätskeflöde, vilket möjliggör återanvändning av filterpatronen utan frekvent byte.

Applikationsegenskaper i Copper CMP

Copper CMP är ett nyckelsteg i Damascene-processen (damascene interconnect). Dess mål är att ta bort kopparöverplätering samtidigt som kopparfyllningen bibehålls i diken och vior. På grund av koppars höga duktilitet och låga hårdhet är den känslig för lokal mekanisk påfrestning under CMP, vilket gör slammets partikeltillstånd särskilt viktigt för processstabiliteten. Koppar CMP-uppslamningar använder vanligtvis kolloidal kiseldioxid som det primära slipmedlet, med en partikelstorlek som vanligtvis kontrolleras mellan 30 och 80 nm, och kompletteras med kemiska tillsatser som väteperoxid och bensotriazol (BTA) för att reglera oxidation och korrosionsinhibering på kopparytan. Den primära uppgiften för sintrade rostfria filter i koppar CMP är att ta bort onormala partiklar flera gånger större än den normala slippartikelstorleken, snarare än att fånga upp alla partiklar.
Om filtrets porstorlek är för liten kommer det att fånga in en stor mängd normalt slipmedel, vilket förändrar uppslamningssammansättningen och minskar materialavlägsningseffektiviteten; om porstorleken är för stor kan den inte effektivt ta bort agglomererade partiklar. Därför använder industriella tillämpningar typiskt gradientfiltreringsstrukturer, vilket gör att uppslamningen successivt kan ta bort föroreningar av varierande storlek vid olika filtreringsstadier samtidigt som en relativt stabil koncentration av nano-slipande partiklar bibehålls. En annan avgörande funktion är att kontrollera slipande metallpartiklar. Pumpar, ventiler och rör i koppar-CMP-cirkulationssystem utsätts för långvarigt-nötande slurryflöde, vilket frigör spårmängder av metallskräp. Dessa partiklar är vanligtvis hårdare än kopparytan och skapar lätt djupa repor under polering.Sintrat rostfritt stål, med sin stabila tredimensionella porösa struktur, kan effektivt fånga in dessa metallskräp under långa perioder utan att porstorleken ändras på grund av hög-nötningshastighet.

Filtreringskrav i Tungsten CMP

Tungsten CMP används främst för bearbetning av volframpluggar i kontaktpluggar och plana kopplingar. Jämfört med koppar är volfram hårdare, och borttagningsprocessen bygger huvudsakligen på en kombination av kemisk oxidation och mekanisk slipning. Därför tillsätts vanligtvis oxidanter och hög-hårdhet till slammet. Volfram CMP-filter måste tåla betydligt högre nivåer av nötning. Eftersom den slipande skärkraften i slammet är starkare är vanliga polymerfiltermedia benägna att porförstoras eller membranslitage efter lång-drift. Den här produkten har dock ett integrerat sintrat metallskelett, som klarar kontinuerlig skurning med hög-hastighet och bibehåller filtreringsnoggrannheten under en lång period. Tungsten CMP är mycket känsligt för metalliska föroreningar.
Om filtret i sig har svetsrester, otillräckligt passiverade ytor eller metalljonutfällning kan det påverka den kemiska reaktionen på volframytan. Därför använder hög-sintrade rostfria filterelement vanligtvis 316L låg-svavligt rostfritt stålpulver, som genomgår elektropolering och ultraren syrapassivering för att bilda en stabil krom-rik oxidfilm på filterelementets yta, vilket minskar risken för utfällning av järn, nickel och andra element.

Rollen för partikelkontroll i STI CMP (Shallow Trench Isolation CMP)

STI (Shallow Trench Isolation) CMP används huvudsakligen för att avlägsna kiseloxidmaterial efter dikesfyllning, för att uppnå elektrisk isolering mellan transistorer. Eftersom STI direkt påverkar efterföljande grindbildning, är dess planariseringskvalitetskrav extremt höga. STI-slam använder vanligtvis nano-ceriumoxid (CeO₂) som det huvudsakliga slipmedlet. Dess partiklar har hög kemisk aktivitet och kan synergistiskt reagera med kiseldioxidytan, vilket förbättrar poleringseffektiviteten. En egenskap hos ceriumoxiduppslamningar är att partiklarna har en stark ytladdning, vilket gör dem benägna att agglomerera på grund av pH- eller jonkoncentrationsförändringar.
Om agglomererade partiklar kommer in i poleringsområdet kan de inte bara orsaka repor utan också leda till över-borttagning av lokaliserade spårområden, vilket orsakar avvikelser i isoleringsstrukturens dimensionella struktur. Detta filter tar kontinuerligt bort agglomerat genom djupfiltrering. Samtidigt, på grund av dess enhetliga inre porflödesfält, minskar den lokal skjuvning av slammet under filtrering, vilket hjälper till att upprätthålla dispersionen av ceriumoxidpartiklar. Detta är viktigare för STI CMP än att bara förbättra filtreringsnoggrannheten, eftersom bibehållande av en stabil abrasiv dispersion direkt förbättrar poleringens enhetlighet.

FAQ
Vid vilket differenstryck ska rengöring utföras? När måste NAVI Titanium filterelementet bytas ut?
+
-
Det initiala differenstrycket för normal drift av NAVI Titanium filterelementet är 0,02–0,06 MPa; när differenstrycket stiger till 0,12–0,25 MPa rekommenderas att stoppa systemet och utföra regenereringsrengöring. Om differenstrycket efter flera rengöringar förblir över 0,35 MPa, flödet kontinuerligt minskar eller precisionsläckage uppstår, måste filterelementet bytas ut.
Vad är standardförfarandet för utbyte av filterelementet NAVI Titanium?
+
-
Stoppa systemet och släpp trycket → dränera mediet → demontera filterpatronen och rengör håligheten → inspektera och byt ut åldrade O-ringar/packningar → installera filterelementet enligt flödesriktningen → dra åt ändlocken jämnt diagonalt → öka långsamt trycket vid lågt tryck och utför en provkörning, och bekräfta att ingen läcka fungerar innan.
Filterelementets livslängd och kasseringsstandarder?
+
-
Under rena driftsförhållanden och korrekt underhåll kan den regenereras 25–35 gånger, med en livslängd på 3–5 år. Om korrosionsgropar, strukturell deformation, permanent mikroporblockering eller förslitning av tätningsytan uppstår är utbyte obligatoriskt.
Uppfyller NAVI Titanium sintrade rostfria filterelement EU:s miljöstandarder?
+
-
Alla är gjorda av 316L-material utan kemisk beläggning, innehåller inga SVHC-höga-ämnen, uppfyller REACH- och RoHS-kraven och släpper inga metalljoner eller fibrer under drift. Överensstämmelsecertifikat kan tillhandahållas för fabriksrevisioner.
Hur ska kasserade NAVI Titanium filterelement hanteras?
+
-
De är helt metalliska återvinningsbara material och anses inte vara farligt avfall. De kan samlas in på ett enhetligt sätt för omsmältning och återvinning, uppfylla EU:s cirkulära ekonomiförordningar och underlätta för kunderna att upprätta miljödrifts- och underhållsregister.
Populära Taggar: sintrat rostfritt stål, Kina sintrat rostfritt stål tillverkare, leverantörer, fabrik, Sintrad brons luftdämpare, Sintrad bronsark, Sintrat metallpulver, Sintrat nickelfilter, Sintrat rostfritt stålrör, Sintrat stålfilter







